分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 按照转子的结构特征区分有以下分子泵:
转子如下图所示: 以下主要探讨涡旋分子泵的分类以及特点: 涡旋分子泵是在分子流状态下工作,使用机械动能气体使分子定向压缩,流动的真空泵。凡是希望获得一个洁净的真空环境,分子泵是很好的选择。由于涡旋分子泵在某些方面,要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更优越。故在一般情况下,多选用涡轮分子泵。 涡旋分子泵结构图如下: 从轴承特性上区分,EVP分子泵大致可分为以下三类:
油润滑分子泵特点:轴承用油润滑。 现在大部分涡轮分子泵转子都用油润滑轴承。因为这种轴承在转子的排气侧,所以油蒸汽不会到达涡轮分子泵的入口。 在工作压强的高压端,通过轴承的油流可用来散失掉气体摩擦热。在低压下主要是油的摩擦本身造成转子温度增高。 脂润滑分子泵特点:轴承用油脂润滑。 通常情况下有效粘度低,蒸汽压极低的轴承用油脂,使涡轮分子泵避免了在抽气时或放大气时都要小心,尤其当转子在高速工作时以免高速流动的油进到入口处。 油脂润滑和脂润滑分子泵也统称为机械轴承分子泵。并且其油或者油脂的性能必须具备以下三个条件,才能满足泵的工作要求:
机械轴承分子泵的特点如下:
磁悬浮分子泵是利用磁力作用将转子悬浮于空中使转子和定子无接触运转。 其特点如下:
相比普通分子泵,它的轴承不需要润滑,所以可以排除油污染。 磁悬浮分子泵轴承是最关键的部位,如下图: EVP不仅提供单个分子泵还提供分子泵系统, 其组成示意图如下图: |
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